风水商企动态
掩膜板制造设备的较新进展
2020-03-05  浏览:84
谈到掩膜板.首先要谈到掩膜版制造设务一一图形发生器(PatternGenerator)。 目前,金属掩膜板制造设备供应a主要有三家:Micronic. Jeot和NuFlare.制作工艺分为激光和电了束两种图形描绘方式,但两种方式各有利弊。采用激光来描绘图形的优势是速度快、效丰高,但精度不如电了束扫描方式:而采川电一r束描绘图形,虽然精度高,们描绘速度慢、生产效率低。由于两种方式的互补性,光刻掩膜板制造商会分别A买两种设备.当制备线宽要求很高的电路图形时使用电子束扫描.对于线宽要求不是很高的电路图形则使)日激光扫描.两种设备的交杆使用既满足了精度要求.也大大提高了速度,同时也大大降低了制造商的投资成本。随着技术的发展.这种状况正在改变。三家掩膜板制造设备供应商都对各自的弱点有了技术上的改进。生产激光川形发生器的Micronic于2005年推出了Sigma7500.它与传统的激光图形发生器有所不同据Micronic的合作伙伴—台湾Hermes-Epitek公司光罩设备部门经Pi.林文盛介绍.Sigma7500采III Micronic的SLM(Spatial Light Modulator)技术.含有百万个镜片的SLM会将深紫外光(DUV)准分了激光反射到掩膜版来产生光掩膜,可用于制备90. 65. 45nm技术节点量产H)光掩膜版。 Sigma7500在二ii;对称性(Anisotropic- bias).较小线宽偏ri (CD-biasing)、峭变校正(Distortion Correction)和方角锐化(CornerEnhancement)-’I方M.t” f形进行处39!. i(d这些处理是通过对像素的在线数v调v来实现的,不影响ICI形描绘速度。Sigma7500埔加的自检A能(Self-Metrology)改井了系统的精度,在较小线宽和定位精度上提高了25%.广城线宽均匀性(Global CD Uniformity)和局域线宽均匀性(Local CDUniformity)有很大改善。并开发了在掩膜板制造过程中刘系统CD议差的校正功能。

相关建材词条解释:

掩膜

MASK(掩膜):单片机掩膜是指程序数据已经做成光刻版,在单片机生产的过程中把程序做进去。优点是:程序可靠、成本低。缺点:批量要求大,每次修改程序就需要重新做光刻板,不同程序不能同时生产,供货周期长。在半导体制造中,许多芯片工艺步骤采用光刻技术,用于这些步骤的图形“底片”称为掩膜(也称作“掩模”),其作用是:在硅片上选定的区域中对一个不透明的图形模板遮盖,继而下面的腐蚀或扩散将只影响选定的区域以外的区域。

线宽

4微米/1微米/0.6微米/0.35微米等,是指IC生产工艺可达到的最小导线宽度(注:应为最小沟道长度,IC工艺的核心是MOS尺寸,所以最小导线宽度的说法不准确),是IC工艺先进水平的主要指标.线宽越小,集成度就高,在同一面积上就集成更多电路单元.在光学中指光源的线宽,比如激光线宽。光从激光器中射出,激光起振后,会有一个或多个纵模产生,每个纵模的频率的范围就是激光的线宽。注意每个纵模的频率宽度和纵模之间的间隔是两个不同的概念,纵模间隔是相邻两个纵模中心频率的差值。激光线宽由谐振腔的品质因数决定,腔的品质因数越高,激光线宽就越窄。考虑激光介质的增益后,激光的线宽的理论极限由增益介质的自发辐射来决定,例如对于He-Ne,其线宽的理论极限约为10^-3Hz量级。当然实际的激光器中还有各种线宽展宽机制,使的激光线宽一般达不到其理论极限,例如对于He-Ne,温度变化0.01度引起的模式频率漂移约0.1MHz,实际He-Ne的激光线宽可达到1MHz,固体激光器中线宽可达1埃左右。

更多»您可能感兴趣的文章:
更多»有关 家装 设计 的产品:
  • 头条资讯
  • 发表评论 | 0评
  • 评论登陆
  • 移动社区 双碳之家 橱柜之家 布艺之家 卫浴之都 建材头条 灯具之家 电气之家 瓷砖之家 区快洞察 全景头条 老姚之家 灯饰之家 电气之家 全景头条 照明之家 防水之家 防盗之家 区快洞察 建材 深圳建材 揭阳建材 香港建材 佛山建材 广州建材 东莞建材 惠州建材 潮州建材 汕头建材 珠海建材 江门建材 韶关建材 湛江建材 茂名建材 肇庆建材 梅州建材 汕尾建材 河源建材 阳江建材 清远建材 中山建材 云浮建材 720全景
    (c)2015-2017 Bybc.cn SYSTEM All Rights Reserved